住友低溫泵 可提供維修保養(yǎng)服務(wù)
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產(chǎn)品名稱:
住友低溫泵 可提供維修保養(yǎng)服務(wù)
產(chǎn)品型號:
SICERA? Ultra KV-10
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品文檔:
無相關(guān)文檔
簡單介紹
住友低溫泵 半導體專用 可提供維修保養(yǎng)服務(wù)/SICERA? Ultra KV-10 低溫泵，是 SHI SICERA Ultra 系列中型型號，專為 PVD ??應(yīng)用而設(shè)計。與上一代型號相比，降低了壓縮機功耗，并提高了低溫泵的氣體容量。其出色的雙逆變器技術(shù)允許在正常熱負荷運行條件下，從而提高生產(chǎn)效率并節(jié)省能源。
住友低溫泵 可提供維修保養(yǎng)服務(wù)
的詳細介紹
住友低溫泵 半導體專用 可提供維修保養(yǎng)服務(wù)/SICERA® Ultra KV-10 低溫泵
住友低溫泵 半導體專用 可提供維修保養(yǎng)服務(wù)/SICERA® Ultra KV-10 低溫泵
產(chǎn)品特點：
專為 PVD 應(yīng)用而設(shè)計
與上一代型號相比，降低了壓縮機功耗，并提高了低溫泵的氣體容量
出色的雙逆變器技術(shù)允許在正常熱負荷運行條件下，*多 5 臺低溫泵與 1 臺 TM-30 壓縮機配對
或 11 臺低溫泵與 1 臺 TM-50 壓縮機配對，從而提高生產(chǎn)效率并節(jié)省能源
應(yīng)用：
物**相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）
離子注入是制造半導體晶圓和其他集成電路至關(guān)重要的低溫表面處理工藝
半導體專用：
智能手機和平板電腦（包括內(nèi)置的加速度計和陀螺儀）
電視、藍光播放器和視頻游戲機
電腦、存儲卡和 USB 閃存盤
汽車導航和**氣囊傳感器、醫(yī)療和通信設(shè)備、工業(yè)機器人等等
