IWAKI易威奇/半導體氣動泵/節省光刻膠PDS-105R
產品特點：
●大幅度的省抗蝕劑 由于驅動源使用的是高扭矩步進馬達，因此即使由于過濾器的堵塞和粘度變化導致排出負荷增加，
排出量也幾乎不會減少，維持高的排出量精度
?噴出精度：±0.3%（F.S.） ?直線性：±0.5%（F.S.） ?分辨率：0.01mL ●無污染 泵部采用了內表面平滑、死區體積小的管板結構。幾乎沒有抗蝕劑液的滯留部，可以防止粒子的產生 ●支持多種涂層工藝 由于可以在1個鏡頭內任意改變噴出速度，所以可以對應微量、短時間涂布等多種抗蝕劑涂布工藝 ●縮短停機時間
IWAKI易威奇/半導體氣動泵/節省光刻膠PDS-105R 產品參數：
*大吐出量 5.0mL/shot 吐出速度 0.1?4.0mL/sec 吸込み速度 0.1?3.0mL/sec *高吐出圧力 0.15MPa 吐出精度 ±0.3%（F.S.） 主要材質 PFA、PTFE *大移送液粘度 200mPa·s
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