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真空泵

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產品名稱: 真空泵
產品型號: BEH
產品廠商: 巖瀨商事
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

半導體制造工藝 FPD制造工藝 太陽能電池制造工藝

真空泵  的詳細介紹

シリーズ

ポンプ形式

排気速度（?/min）

到達圧力（Pa）

TD

スクリュー式ドライ真空ポンプ

650 to 3000

to 0.7

【備考】シーケンサ制御タイプ

BEH

スクリュー式ドライ真空ポンプ

7000 to 30000

to 0.08

TRIC

スクリュー式ドライ真空ポンプ

30000 to 60000

to 0.08

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